鈦升華器采用CF35法蘭安裝方式，同時可安裝3根發(fā)卡鈦鉬絲；鈦升華器可直接與真空系統(tǒng)通過法蘭連接，也可以與吸附阱復(fù)合使用（吸附阱通用接口為CF150法蘭）。鈦升華器標(biāo)準(zhǔn)深入長度升華絲ф2mmTiMo（3根）工作真空度10-1~10-10Pa工作溫度-196~250℃烘烤溫度≤300℃安裝法蘭CF35(70mmOD)最大工作電流52A初始升華電流48A???升華器抽氣速率取決于鈦升華速率、吸氣面積、吸氣位置溫度和系統(tǒng)流導(dǎo)等因素；當(dāng)真空度高于10-4Pa時，抽氣速率完全取決于鈦升華速率；在更好的真空環(huán)境下，其他因素更加重要；鈦升華器對氫氣、水、一氧化碳、氮氣、氧氣等其他具有可觀抽速，對惰性、甲烷等氣體無抽速。具體抽速如下：氣體抽速（ls-1cm-2）20℃-196℃H2310H2O314CO911N2420O226CO289